国度常识产权局信息走漏，艾华（无锡）半导体科技有限公司肯求一项名为“一种ALD开发用双花篮半片理片机构”的专利，公开号CN121380908A，肯求日历为2025年9月。

专利摘录走漏，本发明是一种ALD开发用双花篮半片理片机构，其结构是伺服电机输出端驱动蚁集同动轴，同动轴两头分歧传动蚁集一同步齿形带，两侧同步齿形带分歧通过一同步带夹块蚁集装置架的两头，第一、第二理片机构同侧的同步带夹块分歧通过一瞥块滑动蚁集在并吞直线导轨上，装置架两侧装置有理片陶瓷模块，理片陶瓷模块包括硅片推块，硅片推块上设有陶瓷梳齿，装置架两侧硅片推块上的陶瓷梳齿朝向调换但高度错开，第一、第二理片机构的硅片推块上的陶瓷梳齿朝向相对，位于并吞侧的硅片推块上的陶瓷梳齿高度调换。本发明的优点：可兼容BC电板和TOPCON电板的ALD半片制备工序，可灵验普及出产后果，且结构紧凑，出产成本便宜，开首可靠结识。

天眼查贵府走漏，艾华（无锡）半导体科技有限公司，建树于2019年，位于无锡市，是一家以从事专用开发制造业为主的企业。企业注册成本7400万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，艾华（无锡）半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，财产萍踪方面有商标信息7条，专利信息67条，此外企业还领有行政许可14个。

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